研究内容
1. マイクロ金属成形加工による次世代MEMSの創製
- 超音波援用マイクロ精密鍛造
- 熱援用成形システムと接合技術
- マイクロ成形とCVDのマルチスケール加工技術融合による機能性デバイス創製
2. トップダウンとボトムアッププロセス融合による機能デバイス創製
- CNTの生成・表面修飾による高機能医療用デバイス
- CNT担体と金ナノ粒子を用いた高感度バイオセンサー
- ナノインプリントシートを用いた3Dバイオ分析構造体と高感度感染症ウィルス検査デバイスへの応用
3. 新規表面改質プロセスによる高機能表面の創製
- フィラメント修飾型HFCVD法の開発
- HiPIMSピーク電流制御による反応性スパッタの安定化プロセス開発
- 高靱性化のためのHiPIMSナノ積層化プロセスの開発
- 密着性向上のためのHiPIMSプラズマ処理プロセスの開発
- 三次元均一膜形成のためのHiPIMSプロセスの開発
- 高分子材料のためのAEGDプラズマ処理法の開発