実験装置
プラズマイオン照射装置
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マイクロプレス機械（50KN）
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ダイシングソー
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電子顕微鏡
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原子間力顕微鏡（ナノインデンデーション機能付き）
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共焦点レーザー顕微鏡
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全反射型蛍光顕微鏡（マイクロPIV機能付き）
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赤外線光学顕微鏡
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紫外分光装置
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レーザードップラ振動測定器
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粗さ測定器
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粘度計
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